日本USHIO牛尾光刻機MEMS用曝光裝置四川成都優勢供應

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產品名稱: 日本USHIO牛尾光刻機MEMS用曝光裝置四川成都優勢供應

產品型號: MEMS

產品展商: 日本USHIO牛尾

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簡單介紹

日本USHIO牛尾光刻機MEMS用曝光裝置四川成都優勢供應日本USHIO牛尾光刻機MEMS用曝光裝置四川成都優勢供應

日本USHIO牛尾光刻機MEMS用曝光裝置四川成都優勢供應 的詳細介紹

配備適用于20mm*大φ8英寸的晶圓，具有*小5微米(MICRON)L/S規格之等倍投影曝光光學系統的曝光裝置。

MEMS用途上，配備具有較深度焦點深度（*大±50微米(MICRON)）之USHIO獨特投影鏡頭，*適合對高低差異基板的曝光、及凹凸基板的曝光，甚至壓膜光阻的曝光。此外，亦可透過背面對位(選購配備)對背面曝光。

特征

?較深的焦點深度
配備具有*大±50μ焦點深度的投影鏡片。
?高精度校正
采用TTL測光方式。
直接使用各個顯微鏡觀察遮罩/工作記號進行校正，因此可執行高**度校正。
?光罩無損害
光罩與作產品完全不接觸，因此不造成損壞，光罩可半長久使用。
?抗污垢與殘留異物的構造
可安裝附薄膜的光罩，因此可忽視光罩類型面上的污垢執行曝光。
此外，為了在光罩類型面對焦，其構造可抗光罩上的污垢。
?簡易維護與操作
因為曝光時無須驅動，一年一次校正即可。操作與選單管理的重現亦完整。