用于晶圓輸送的真空鉗
弗洛羅機械真空鉗的特點
昭和58年獲得開關閥專 利,開發和商業化半導體兼容真空鉗子后,我們的真空鉗子不斷發展,市場不斷擴大。 我們的真空鉗子具有廣泛的功能,從硅片到微小工件的吸附和輸送。 由于我們始終如一地開發、制造和銷售產品,因此我們能夠了解客戶的需求,并始終從客戶那里開發和制造新產品的提示。
近年來,需要一種技術來輸送易碎的超薄晶圓,并不斷開發相應的新產品芯片。 其中,多孔芯片是輸送化合物半導體和太陽能電池晶圓的理想選擇。
12 英寸導電多孔芯片 (No.66) 全新陣容
12英寸的導電多孔芯片,只有8英寸出現。 非常適合降低化合物半導體和薄晶圓處理過程中的應力。 吸附脫離的反應也輕盈。 由導電PEEK制成。 注: 工藝上多孔芯片腔內存在無法去除的毛刺。 請原諒我。 |
真空鉗體系列
為了讓您長時間使用真空鉗子,我們每天連續執行 8 小時的閥門耐久性測試,以重復按鈕開/關。
使用真空泵 FV-30。